300mm 晶圓盒晶圓保持件之保持力分析及最佳化設計
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- 資料識別：
- A03024455
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 李定穎 陳維隆 吳宗明 林慧芝
- 主題與關鍵字：
- 300mm晶圓盒 晶圓 晶圓保持件 電腦輔助分析 最佳化設計 FOUP Wafer Wafer retainer CAE Optimum design
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:246 民92.09
- 頁次:頁128-136
- 日期：
- 20030900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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