On the Design of an Innovative Latch Mechanism in Smifed Wafer Containers
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- 資料識別：
- A03023904
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Pai，Wei-ming Chen，Dar-zen Lee，Jyh-jone Ho，Chi-zer
- 主題與關鍵字：
- SMIF Wafer container Latch mechanism
- 描述：
- 來源期刊:The Chinese Journal of Mechanics
- 卷期:19:3 民92.09
- 頁次:頁389-395
- 日期：
- 20030900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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