矽晶圓拋光平坦化加工技術
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- 資料識別：
- A03023629
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 許厲生 徐振貴 陳炤彰
- 主題與關鍵字：
- 矽晶圓平坦化 化學機械拋光 機械化學拋光 拋光墊 半導體製程 CMP MCP
- 描述：
- 來源期刊:機械月刊
- 卷期:29:7=336 民92.07
- 頁次:頁50-62
- 日期：
- 20030700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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