場發射式歐傑電子顯微鏡(AES)／微區表面化學電子能譜儀(ESCA)之簡介
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- 資料識別：
- A03023255
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 田大昌 黃啟貞
- 主題與關鍵字：
- 薄膜分析 表面分析 場效發射式歐傑電子顯微鏡 微區表面化學電子能譜儀 反射式電子能量損失能譜 縱深分析 影像解析度 化態分析 Thin film analysis Surface analysis FE-AES μ-ESCA XPS REELS Depth profile Image resolution Chemical analysis
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:201 民92.09
- 頁次:頁81-89
- 日期：
- 20030900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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