面型微加工技術製作之電熱式致動器
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- 資料識別：
- A03001488
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 賴彥志(Lai， Yen-jyh) 林佑昇(Lin， Yu-shen) 吳嘉昱(Wu， Chia-yu) 李正國(Lee， Chengkuo)
- 主題與關鍵字：
- 面型微加工技術 電熱式致動器 微機電系統 Micro-electro-mechanical-system MEMS
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:24:4=132 民92.02
- 頁次:頁25-33
- 日期：
- 20030200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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