Detection of Gate-Oxide Integrity in Plasma Etching Process with Differential Amplifier Circuit Design
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- 資料識別：
- A03017003
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王木俊(Wang， Mu-chun) 蔡政村(Tsai， Cheng-tsun) 陳厚銘(Chen， Hou-ming) 廖御傑(Liau， Yu-jie)
- 主題與關鍵字：
- 氧化層 電漿製程 損傷 可靠度 天線 差動放大器 Oxide Plasma process Damage Reliability Antenna Differential amplifier
- 描述：
- 來源期刊:暨大學報
- 卷期:7:1 民92.06
- 頁次:頁155-168
- 日期：
- 20030600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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