奈米級表面聲波致動定位技術介紹
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- 資料識別：
- A03013579
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 朱怡銘 巫震華
- 主題與關鍵字：
- 表面聲波致動器 奈米定位平臺 雷射干涉儀 光學尺 SAW actuator Nano positioning stage Laser interferometer Linear encoder
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:243 民92.06
- 頁次:頁169-182
- 日期：
- 20030600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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