奈米轉印微影技術之成品檢測
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- 資料識別：
- A03013577
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳明祈 陳釧鋒
- 主題與關鍵字：
- 奈米轉印微影技術 掃描式電子顯微鏡 原子力顯微鏡 成品檢測 Nanoimprint lithography NIL Scanning electron microscope SEM Atomic force microscope AFM The detection of product
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:243 民92.06
- 頁次:頁152-162
- 日期：
- 20030600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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