奈米製造技術的新契機--奈米轉印微影術及其設備發展現況
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- 資料識別：
- A03013575
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林家弘 許嘉峻
- 主題與關鍵字：
- 奈米轉印微影術 奈米製造技術 線寬 Nanoimprint lithography NIL Nano fabrication technique Linewidth
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:243 民92.06
- 頁次:頁130-141
- 日期：
- 20030600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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