厚膜光阻微影系統簡介
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- 資料識別：
- A03013550
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 丁志華 蔡來福 陳建光
- 主題與關鍵字：
- 厚膜光阻微影 光罩對準曝光系統 光阻塗佈顯影系統 近接式曝光 雙面對準 楔形誤差補償前端 關蓋旋塗技術 反放射滴液法 Thick-photoresist lithography Mask Aligner Track Proximity printing Double-side alignment Wedge error compensation head WEC Closed cover spin GYRSET technology Reverse radial dispense RRD
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:10:2 民92.05
- 頁次:頁30-42
- 日期：
- 20030500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
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