降溫化學氣相沈積疊層非晶質Ti/TiNx阻障層於銅金屬化製程的應用
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- 資料識別：
- A03013549
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 歐耿良 吳文發 許倬綸 顏進偉 許瓊姿
- 主題與關鍵字：
- 鈦 氮化鈦 銅 擴散阻障層 化學氣相沈積 Titanium Titanium nitride Copper Diffusion barrier Chemical vapor deposition
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:10:2 民92.05
- 頁次:頁25-29
- 日期：
- 20030500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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