掃描電容顯微鏡之微分電容訊號影響變因研究
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- 資料識別：
- A03013548
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張茂男 萬文武 陳志遠 賴建宏 梁正宏 潘扶民
- 主題與關鍵字：
- 掃描電容顯微鏡 試片製備 調制電壓 探針 光擾 Scanning capacitance microscopy SCM Sample preparation Modulation bias Probe tip Photo-perturbation
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:10:2 民92.05
- 頁次:頁17-24
- 日期：
- 20030500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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