新穎的X-ray曝光技術在低介電常數薄膜直接圖形化之研究
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- 資料識別：
- A03013546
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉柏村 張鼎張 蔡宗鳴 陳紀文 許鉦宗 曾俊元
- 主題與關鍵字：
- X-射線 直接圖形化 低介電常數材料 X-ray Direct patterning Low-k Hydrogen silsesquioxane HSQ Hybrid-organic-siloxane-polymer HOSP
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:10:2 民92.05
- 頁次:頁5-12
- 日期：
- 20030500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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