低溫液相沉積含氟二元氧化矽技術
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- 資料識別：
- A03012305
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 江世明 梁沐旺
- 主題與關鍵字：
- 液相沉積 二氧化矽 六氟矽酸 Liquid phase deposition Silicon dioxide Hydrofluosilicic acid
- 描述：
- 來源期刊:機械工程
- 卷期:246 民92.06
- 頁次:頁29-36
- 日期：
- 20030600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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