掃描電容顯微鏡之發展與現況--介紹掃描電容顯微鏡的技術發展與應用
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- 資料識別：
- A03010296
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張茂男 陳志遠 潘扶民
- 主題與關鍵字：
- 掃描電容顯微鏡 SCM
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:9:6=95 民92.06
- 頁次:頁150-158
- 日期：
- 20030600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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