半導體製程中微量元素分析技術之應用
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A03010295
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 紀柏享
- 主題與關鍵字：
- 感應耦合電漿質譜儀 石墨爐原子吸收光譜儀 全反射x射線螢光光譜儀 半導體製程 微量元素分析
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:9:6=95 民92.06
- 頁次:頁141-149
- 日期：
- 20030600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
