Si-LIGA製程技術與應用
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- 資料識別：
- A03000466
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林郁欣 游智勝 胡一君
- 主題與關鍵字：
- Si-LIGA製程 微機電系統 MEMS
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:9:1=90 民92.01
- 頁次:頁114-121
- 日期：
- 20030100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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