淺談CMOS-MEMS之發展與未來
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- 資料識別：
- A03000464
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鄭英周 張培仁
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 MEMS
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:9:1=90 民92.01
- 頁次:頁69-92
- 日期：
- 20030100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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