引起靜電放電所致電磁干擾的FOUPs傳送之研究
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- 資料識別：
- A03000451
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳振忠 管偉 Levit，Larry B. Henry，Leo G.
- 主題與關鍵字：
- 靜電放電 電磁干擾 晶圓傳送盒 FOUP
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:9:3=92 民92.03
- 頁次:頁175-181
- 日期：
- 20030300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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