奈米級CMOS元件製程參數之自動化量測與萃取
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- 資料識別：
- A02007703
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 黃恆盛(Huang， Heng-sheng) 段復元(Tuan， Fu-yuan)
- 主題與關鍵字：
- 有效通道長度 製程參數 C-R方法 自動化量測 源／汲極串聯電阻 閘／汲極間電容 Effective channel length L□ Process parameter C-R method Automatic measurement Source-to-drain series resistance R□ The gate to drain capacitance C□
- 描述：
- 來源期刊:臺北科技大學學報
- 卷期:35:1 民91.03
- 頁次:頁27-33
- 日期：
- 20020300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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