化學機械研磨製程對摻氟二氧化矽的影響
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- 資料識別：
- A02006567
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 詹森博(Chan， Sun-bou) 戴寶通(Pai， Bou-tong) 貢中元(Kung， Chung-yuan) 蔡明蒔(Tsai， Min-shih)
- 主題與關鍵字：
- 化學機械研磨 摻氟二氧化矽 水氣吸附 Chemical mechanical polishing Fluorine-doped silicon dioxide Moisture absorption
- 描述：
- 來源期刊:興大工程學刊
- 卷期:13:1 民91.03
- 頁次:頁49-55
- 日期：
- 20020300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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