濺鍍銅膜之氧化行為研究
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- 資料識別：
- A02005991
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 敖仲寧(Aoh， J. N.) 莊正利(Chuang， C. L.) 丁榮豐(Din， R. F.) 童山(Torng， S.) 林德昇(Lin， D. S.)
- 主題與關鍵字：
- 銅薄膜 濺鍍 化學電子儀 銅膜氧化物分析 Cu film Sputtering process ESCA Oxide analysis Wire bonding of Cu-chip
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:34:1 民91.03
- 頁次:頁1-7
- 日期：
- 20020300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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