微機電系統光罩圖的參數化設計
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- 資料識別：
- A02004716
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 戴任詔(Tai， Jen-chao) 宋開泰(Song， Kai-tai)
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 參數化設計 光罩圖設計 Microelectromechanical system MEMS Parametric design Mask design
- 描述：
- 來源期刊:技術學刊
- 卷期:17:1 民91.03
- 頁次:頁73-82
- 日期：
- 20020300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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