微邊際電容感測器的設計與製作
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- 資料識別：
- A02004052
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 汪島軍(Wang， Dau-chung) 程澧藝(Cheng， Li-yi)
- 主題與關鍵字：
- 邊際電容感測器 半導體製程 距離量測 Fringe capacitive sensor MEMS Displacement sensor
- 描述：
- 來源期刊:科技學刊
- 卷期:11:1 民91.01
- 頁次:頁1-6
- 日期：
- 20020100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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