Removal of Small Particles from a Smooth Surface by Liquid Immersion

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資料識別:
A02045363
資料類型:
期刊論文
著作者:
游憲一(You, Hsien-i) 劉樹地(Liou, Shuh-dih)
主題與關鍵字:
Particle removal Liquid immersion 粒子 脫離
描述:
來源期刊:中國機械工程學刊
卷期:23:5 民91.10
頁次:頁451-457
日期:
20021000
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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