Development of Microelectromechanical System Fabrication Emulator by Solid Modeling Technology
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- 資料識別：
- A02045279
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳國聲(Chen， Kuo-shen) 鄭景仁(Cheng， Ching-jen) 葉修銘(Yeh， Hsiu-ming)
- 主題與關鍵字：
- Computer aided design MEMS Solid modeling Microfabrication 電腦輔助設計 微機電製程 微機電系統
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:23:6 民91.12
- 頁次:頁525-532
- 日期：
- 20021200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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