微結構製造與分析
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- 資料識別：
- A02043455
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 廖顯大(Liaw， Shand-dad) 李勝華(Lee， Sheng-hua) 陳育堂(Chen， Yu-tang)
- 主題與關鍵字：
- 面形微加工技術 懸臂樑 空橋 圓形薄膜空室 重鉻酸明膠 光阻 Surface micromachining techniques Cantilever beam Air bridge Circular diaphragm chamber Dichromated delatine Photoresist
- 描述：
- 來源期刊:德霖學報. 理工類
- 卷期:16 民91.06
- 頁次:頁32-41
- 日期：
- 20020600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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