微細加工技術之微型壓力感測器
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- 資料識別：
- A02043452
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳育堂(Chen， Yu-tang) 陳維亞(Chen， Wei-ya) 廖顯大(Liaw， Shand-da)
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 電容式壓力感測器 壓阻式感測器 Micro electro-mechanical systems Micro capacitive pressure-sensor Piezoresistance pressure-sensor
- 描述：
- 來源期刊:德霖學報. 理工類
- 卷期:16 民91.06
- 頁次:頁1-8
- 日期：
- 20020600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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