使用多堆疊的化學氣相沉積Ti/TiN結構增強TiN薄膜的擴散阻障特性
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- 資料識別：
- A02042005
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張鼎張 劉柏村 胡榮志 陳紀文 彭仁杰
- 主題與關鍵字：
- 化學氣相沉積 Ti/TiN結構 TiN薄膜 多堆疊式
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:9:2 民91.05
- 頁次:頁13-17
- 日期：
- 20020500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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