n-型(100)矽單晶的光電化學腐蝕研究

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資料識別:
A02041171
資料類型:
期刊論文
著作者:
林景崎(Lin, J. C.) 蔡志昌(Tsai, C. C.) 蕭文助(Hsiao, W. C.) 賴建銘(Lai, C. M.) 黃戎巖(Huang, Z. Y.)
主題與關鍵字:
光電化學蝕刻 微孔洞 動態陽極極化分析 Photo-electrochemical etching Anodic-polarization Macro-pores
描述:
來源期刊:防蝕工程
卷期:16:3 民91.09
頁次:頁209-218
日期:
20020900
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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