Generation Lifetime Improvement in MOS Capacitor by Fast Neutron Enhanced Intrinsic Gettering Technique
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- 資料識別：
- A02003667
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 溫武義(Uen， Wu-yih) 廖森茂(Liao， Sen-mao) 藍山明(Lana， Shan-ming) 邱建珽(Chiou， Jing-ting)
- 主題與關鍵字：
- 少數載子生命期 MOS電容 快中子照射 Czochralski矽晶圓 Minority-carrier generation lifetime MOS capacitor Fast neutron irradiation Intrinsic gettering CZ-Si
- 描述：
- 來源期刊:中原學報
- 卷期:30:1 民91.03
- 頁次:頁93-97
- 日期：
- 20020300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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