Tailoring the Material and Electronic Properties of Ultra-thin ZrO[feaf]Films for Microelectronics Application
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- 資料識別：
- A02003500
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Chang，Jane P.
- 主題與關鍵字：
- Atomic layer deposition Thin film Microelectronics
- 描述：
- 來源期刊:Journal of the Chinese Institute of Chemical Engineers
- 卷期:33:1 民91.01
- 頁次:頁95-102
- 日期：
- 20020100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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