入口流速對MOCVD反應室內氣體分佈的影響
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- 資料識別：
- A02037477
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林惠娟(Lin， H. J.) 柳逸斌(Liu， I. B.)
- 主題與關鍵字：
- 銅薄膜 數值模擬 有機金屬化學氣相沉積 Copper thin film Simulation MOCVD
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:34:4 民91.12
- 頁次:頁255-260
- 日期：
- 20021200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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