XPS超薄薄膜分析
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- 資料識別：
- A02037276
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 潘扶民(Pan， Fu-ming)
- 主題與關鍵字：
- 半導體 積體電路工業 超薄薄膜 XPS
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:24:3=131 民91.12
- 頁次:頁4-13
- 日期：
- 20021200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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