直流式磁控濺鍍系統鍍製鋯及鋯基氮化物薄膜之探討
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- 資料識別：
- A02035926
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊恆傑(Yang， Heng-ghieh) 劉全璞(Liu， Chuan-pu)
- 主題與關鍵字：
- 測鍍系統 擴散阻障層 鋯 氮化鋯 鉭 氮化鉭 Sputtering system Diffusion barrier Zr ZrN Ta TaNx
- 描述：
- 來源期刊:鑛冶
- 卷期:46:4=180 民91.12
- 頁次:頁137-142
- 日期：
- 20021200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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