奈米孔洞二氧化矽超低介電薄膜的電漿鍛燒及改質
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- 資料識別：
- A02035169
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 卓恩宗 蔡增光 楊家銘 吳柏偉 潘扶民 趙桂蓉
- 主題與關鍵字：
- 奈米孔洞二氧化矽薄膜 電漿鍛燒
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:9:4 民91.11
- 頁次:頁26-32
- 日期：
- 20021100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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