熱流技術用於電子束微影中製作次35奈米接觸洞之研究
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- 資料識別：
- A02035165
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳學禮 陳志豪 鄭旭君 朱鐵吉 潘敬德
- 主題與關鍵字：
- 熱流技術 電子束微影 次35奈米接觸洞
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:9:4 民91.11
- 頁次:頁1-7
- 日期：
- 20021100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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