熱流技術用於電子束微影中製作次35奈米接觸洞之研究

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資料識別:
A02035165
資料類型:
期刊論文
著作者:
陳學禮 陳志豪 鄭旭君 朱鐵吉 潘敬德
主題與關鍵字:
熱流技術 電子束微影 次35奈米接觸洞
描述:
來源期刊:奈米通訊
卷期:9:4 民91.11
頁次:頁1-7
日期:
20021100
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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