利用計算流體力學軟體模擬分析無塵室之流場與微塵粒子的關係以提高產品良率之研究
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- 資料識別：
- A02034546
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 魏慶華(Wei， Ching-hua) 黃忠仁(Huang， Jong-zen) 陳浩平(Chen， Hao-ping)
- 主題與關鍵字：
- 無塵室 計算流體力學 微塵粒子 Clean room Computational fluid dynamics Particle
- 描述：
- 來源期刊:南臺科技大學學報
- 卷期:27 民91.12
- 頁次:頁61-69
- 日期：
- 20021200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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