利用計算流體力學軟體模擬分析無塵室之流場與微塵粒子的關係以提高產品良率之研究

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資料識別:
A02034546
資料類型:
期刊論文
著作者:
魏慶華(Wei, Ching-hua) 黃忠仁(Huang, Jong-zen) 陳浩平(Chen, Hao-ping)
主題與關鍵字:
無塵室 計算流體力學 微塵粒子 Clean room Computational fluid dynamics Particle
描述:
來源期刊:南臺科技大學學報
卷期:27 民91.12
頁次:頁61-69
日期:
20021200
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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