濺鍍用靶材之製造方法介紹
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- 資料識別：
- A02027580
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 謝榮淵(Hsieh， Rong-iuan)
- 主題與關鍵字：
- 濺鍍靶材 純度 晶粒大小 優選結晶方向 Sputtering target Purity Grain size Preferred orientation
- 描述：
- 來源期刊:技術與訓練
- 卷期:27:4=215 民91.08
- 頁次:頁135-145
- 日期：
- 20020800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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