掃描探針微影術之機制介紹
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- 資料識別：
- A02026163
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 羅榮立
- 主題與關鍵字：
- 掃描探針顯微術 掃描穿隧顯微術 原子力顯微術 掃描探針微影術 掃描近場顯微術 Scanning probe microscopy SPM Scanning tunneling microscopy STM Atomic force microscopy AFM Scanning near-field optical microscopy SNOM Scanning probe lithography SPL
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:23:6=128 民91.06
- 頁次:頁61-67
- 日期：
- 20020600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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