電漿蝕刻在VLSI製程之應用
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A02025701
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 邱國峰(Chiu， K. F.)
- 主題與關鍵字：
- 電漿蝕刻 VLSI
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:15:3 民91.09
- 頁次:頁44-50
- 日期：
- 20020900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
