氧/氫/氮電漿對混合有機矽氧烷聚合物之介電物性效應(1)
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- 資料識別：
- A02025699
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳錦山(Chen， G. S.) 陳松德(Chen， S. T.) 楊聰仁(Yang， T. J.) 林中魁(Lin， C. K.)
- 主題與關鍵字：
- 混合有機矽氧烷聚合物 介電
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:15:3 民91.09
- 頁次:頁30-36
- 日期：
- 20020900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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