於SiO[feaf]/Si基材上鉭-矽-氮薄膜之濺鍍沈積及其高溫阻銅擴散性質
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- 資料識別：
- A02025698
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳慶洪(Chen， E. C.) 陳柏佑(Chen， B. Y.) 蔡秉昇(Chai， B. S.) 張勁燕(Chang， G. Y.)
- 主題與關鍵字：
- SiO[feaf]/Si基材 鉭-矽-氮薄膜 濺鍍沈積 高溫阻銅擴散
- 描述：
- 來源期刊:真空科技
- 卷期:15:3 民91.09
- 頁次:頁20-29
- 日期：
- 20020900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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