類鑽碳膜矽基板上沉積氧化鋅薄膜對表面聲波元件之效用
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- 資料識別：
- A02024851
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 王瑤池 謝觀峻 徐明生 黃文啟 湯譯增 洪茂峰 莊陽德
- 主題與關鍵字：
- 類鑽碳薄膜 膜矽基板 沉積氧化鋅薄膜 表面聲波元件
- 描述：
- 來源期刊:黃埔學報
- 卷期:43 民91.09
- 頁次:頁407-418
- 日期：
- 20020900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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