化學氣相沈積前驅物分子的表面化學
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- 資料識別：
- A02023543
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊耀文(Yang， Y. W.) 吳金寶(Wu， J. B.) 林宜鋒(Lin， I. F.) 裘性天(Chiu， H. T.)
- 主題與關鍵字：
- 表面化學 表面反應機制 化學氣相沉積 氮化鎢前驅物 程溫脫附法 同步輻射光源 光電子能譜術 銅(111) 矽(100)(2�) (BuN)[feaf]W(NHBu)[feaf]
- 描述：
- 來源期刊:化學
- 卷期:60:3 民91.09
- 頁次:頁439-448
- 日期：
- 20020900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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