砷化鎵晶圓製程技術與應用

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資料識別:
A02020134
資料類型:
期刊論文
著作者:
賴文郎 謝榮哲 吳明章 周志豪
主題與關鍵字:
砷化鎵晶圓 輪磨 拋光 GaAs wafer Grinding Polishing
描述:
來源期刊:機械工業
卷期:233 民91.08
頁次:頁103-110
日期:
20020800
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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