砷化鎵晶圓製程技術與應用
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- 資料識別：
- A02020134
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 賴文郎 謝榮哲 吳明章 周志豪
- 主題與關鍵字：
- 砷化鎵晶圓 輪磨 拋光 GaAs wafer Grinding Polishing
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:233 民91.08
- 頁次:頁103-110
- 日期：
- 20020800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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