晶圓傳送盒閂鎖機構之美國專利分析
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- 資料識別：
- A02020114
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳達仁 白維銘 李志中 吳宗明
- 主題與關鍵字：
- 晶圓傳送盒 閂鎖機構 專利分析 Wafer transport container Latch mechanism Patent analysis
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:234 民91.09
- 頁次:頁111-119
- 日期：
- 20020900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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