300mm晶圓載卸模組之氣流及污染粒子特性研究
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- 資料識別：
- A02020113
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蕭宗容 胡石政 林洋閔 吳宗明
- 主題與關鍵字：
- 300mm晶圓傳送盒 晶圓載入機 微環境 正壓控制 Front opening unified pod FOUP Load port LP Minienvironment M/E Positive pressure control
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:234 民91.09
- 頁次:頁99-110
- 日期：
- 20020900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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