特徵為基礎之晶圓缺陷圖樣辨識與分類演算法
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- 資料識別：
- A02019384
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳飛龍(Chen， Fei-long) 謝祥文(Hsieh， Hsiang-wen)
- 主題與關鍵字：
- 良率提升 缺陷圖樣辨識 特徵向量 Yield enhancement Spatial defect pattern Feature vector
- 描述：
- 來源期刊:工業工程學刊
- 卷期:19:4 民91.07
- 頁次:頁17-24
- 日期：
- 20020700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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