特徵為基礎之晶圓缺陷圖樣辨識與分類演算法

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資料識別:
A02019384
資料類型:
期刊論文
著作者:
陳飛龍(Chen, Fei-long) 謝祥文(Hsieh, Hsiang-wen)
主題與關鍵字:
良率提升 缺陷圖樣辨識 特徵向量 Yield enhancement Spatial defect pattern Feature vector
描述:
來源期刊:工業工程學刊
卷期:19:4 民91.07
頁次:頁17-24
日期:
20020700
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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