電子束表面蒸鍍技術

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資料識別:
A02001628
資料類型:
期刊論文
著作者:
賴明雄
主題與關鍵字:
電子束 蒸鍍 濺鍍 電子槍 物理氣相沉積 Electron beam Evaporation coating Sputtering Electron gun PVD
描述:
來源期刊:工業材料
卷期:182 民91.02
頁次:頁110-119
日期:
20020200
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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